JC/T 181-2011 半导体用透明石英玻璃器件
标准详情：
JC/T 181-2011
行业标准-JC 建材推荐性废止
- 中文名称：半导体用透明石英玻璃器件
- CCS分类：Q35
- ICS分类：81.040.30
- 发布日期：2011-12-20
- 实施日期：2012-07-01
- 代替标准：代替JC/T 181-1981 (1996)
- 行业分类：
- 技术归口：全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会
- 发布部门：工业和信息化部
- 标准分类：玻璃玻璃产品JC 建材玻璃和陶瓷工业
内容简介
行业标准《半导体用透明石英玻璃器件》由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
本标准规定了半导体用透明石英玻璃器件的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于半导体行业生产中使用的透明石英玻璃器件，包括透明石英玻璃扩散管、透明石英玻璃舟、透明石英玻璃保温桶、透明石英托架、透明石英瓶、透明石英清洗缸等。其它用途的透明石英玻璃器件可参照本标准。
起草单位
中国建筑材料检验认证中心、中国建筑材料科学研究总院
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