JB/T 4081-2011 真空技术溅射离子泵

标准详情：

JB/T 4081-2011

行业标准-JB 机械推荐性

中文名称：真空技术溅射离子泵
CCS分类：J78
ICS分类：
发布日期：2011-12-20
实施日期：2012-04-01
代替标准：代替JB/T 4081-1991;JB/T 4082-1991
行业分类：
技术归口：全国真空技术标准化技术委员会
发布部门：工业和信息化部
标准分类：JB 机械

内容简介

行业标准《真空技术溅射离子泵》由全国真空技术标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数、要求、测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及质量保证要求。本标准适用于普通型式的溅射离子泵。

起草单位

北京中科科仪技术发展有限公司、沈阳真空技术研究所

起草人

朱国精、邹蒙等

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