YS/T 837-2012 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法

标准详情：

YS/T 837-2012

行业标准-YS 有色金属推荐性

中文名称：溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
CCS分类：H68
ICS分类：77.120.99
发布日期：2012-11-07
实施日期：2013-03-01
代替标准：
行业分类：
技术归口：全国有色金属标准化中心
发布部门：工业和信息化部
标准分类：冶金有色金属其他有色金属及其合金 YS 有色金属

内容简介

行业标准《溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法》由全国有色金属标准化中心归口上报，主管部门为工业和信息化部。
本标准规定了溅射用靶材-背板结合质量超声纵波脉冲反射液浸法C扫描检验技术的一般方法。内容包括一般要求、检验设备、对比试块、检验过程、缺陷评定及检验报告等。本标准适用于用中间层材料结合方式（如软钎焊、硬钎焊和环氧树脂粘接等）的溅射靶材-背板结合面的孔洞、未结合、氧化物夹杂等缺陷的检验。其他用途的材料结合质量无损检测也可参照使用。