YS/T 791-2012 铂靶

标准详情:

YS/T 791-2012

行业标准-YS 有色金属推荐性
  • 中文名称:铂靶
  • CCS分类:H68
    ICS分类:77.120.99
  • 发布日期:2012-11-07
    实施日期:2013-03-01
  • 代替标准:
    行业分类:
  • 技术归口:全国有色金属标准化技术委员会
    发布部门:工业和信息化部
  • 标准分类:冶金有色金属其他有色金属及其合金YS 有色金属

内容简介

行业标准《铂靶》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。
本标准规定了铂靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及合同或订货单。本标准适用于半导体器件用的各类铂溅射靶材,其他用途的铂靶材也可参照使用。

起草单位

有研亿金新材料有限公司

起草人

王永辉、朱晓光

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