JC/T 2133-2012 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法

标准详情：

JC/T 2133-2012

行业标准-JC 建材推荐性

中文名称：半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法
CCS分类：G14
ICS分类：
发布日期：2012-12-28
实施日期：2013-06-01
代替标准：
行业分类：
技术归口：全国工业陶瓷标准化技术委员会
发布部门：工业和信息化部
标准分类：JC 建材

内容简介

行业标准《半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法》由全国工业陶瓷标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
本标准规定了采用电感耦合等离子体原子发射光谱(ICP-AES)法测定半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的方法。本标准适用于半导体化学机械抛光(CMP)中抛光液用的各种硅溶胶。

起草单位

中国科学院上海硅酸盐研究所

起草人

陈奕睿、屈海云等

相近标准

SN/T 3363-2012 铅锭中杂质元素含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法
SN/T 2047-2008 进口铜精矿中杂质元素含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法
EJ/T 20170-2018 金属铀中20种微量杂质元素的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法
YS/T 1261-2018 铪化学分析方法杂质元素含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法
JC/T 2132-2012 钛酸锶钡中掺杂元素和微量元素含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法
YS/T 630-2016 氧化铝化学分析方法杂质元素含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法
SN/T 2698-2010 钨制品中杂质元素分析电感耦合等离子体原子发射光谱法
SN/T 4377-2015 铜及铜合金废料杂质元素的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法
NB/SH/T 0824-2010 润滑油中添加剂元素含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法

* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。

本地下载

纠错