HG/T 4509-2013 工业高纯氢氟酸

标准详情:

HG/T 4509-2013

行业标准-HG 化工推荐性
  • 中文名称:工业高纯氢氟酸
  • CCS分类:G11
    ICS分类:71.060.30
  • 发布日期:2013-10-17
    实施日期:2014-03-01
  • 代替标准:
    行业分类:
  • 技术归口:全国化学标准化技术委员会无机化工分会
    发布部门:工业和信息化
  • 标准分类:化工技术无机化学HG 化工

内容简介

行业标准《工业高纯氢氟酸》由全国化学标准化技术委员会无机化工分会归口上报,主管部门为工业和信息化。
本标准规定了工业高纯氢氟酸的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输、贮存和安全。本标准适用于工业高纯氢氟酸。该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻,以及作为生产其他高纯氟化物的原料等。

起草单位

浙江凯恒电子材料有限公司、福建省邵武市永飞化工有限公司等

起草人

田志扬、赵晓亚 等

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