YS/T 936-2013 集成电路器件用镍钒合金靶材

标准详情：

YS/T 936-2013

行业标准-YS 有色金属推荐性

中文名称：集成电路器件用镍钒合金靶材
CCS分类：H62
ICS分类：77.150.40
发布日期：2013-10-17
实施日期：2014-03-01
代替标准：
行业分类：
技术归口：全国有色金属标准化技术委员会
发布部门：工业和信息化部
标准分类：冶金有色金属产品镍和铬产品 YS 有色金属

内容简介

行业标准《集成电路器件用镍钒合金靶材》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
本标准规定了集成电路器件用镍钒合金溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及订货单或合同内容。本标准适用于电子薄膜制造用的各类镍钒合金溅射靶材。

起草单位

有研亿金新材料股份有限公司、北京有色金属研究总院等

起草人

董亭义、何金江等

相近标准

20220333-T-610 高纯镍靶材
GB/T 39159-2020 集成电路用高纯铜合金靶材
YS/T 937-2013 镍铂靶材
SJ/T 11029-2015 电子器件用金镍纤料的分析方法 EDTA容量法测定镍
YS/T 908-2013 电真空器件用镍及镍合金板带材和棒材
GB/T 15651-1995 半导体器件分立器件和集成电路第5部分:光电子器件
SJ/T 1543-2020 电真空器件用镍及镍合金光谱分析方法
SJ/T 1542-2020 电真空器件用镍及镍合金化学分析方法
20193132-T-339 半导体器件集成电路第20部分：膜集成电路和混合膜集成电路总规范第一篇：内部目检要求

* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。

本地下载

纠错