JB/T 12067-2014 TDL-GX硅芯生长炉

标准详情：

JB/T 12067-2014

行业标准-JB 机械推荐性

中文名称：TDL-GX硅芯生长炉
CCS分类：K61
ICS分类：25.180.10
发布日期：2014-07-14
实施日期：2014-11-01
代替标准：
行业分类：
技术归口：全国工业电热设备标准化技术委员会
发布部门：工业和信息化部
标准分类：机械制造工业炉电炉 JB 机械

内容简介

行业标准《TDL-GX硅芯生长炉》由全国工业电热设备标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
本标准规定了对TDL-GX 硅芯生长炉产品的型号品种规格、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、存储以及定购和供货等。本标准适用于高频感应加热，采用基座法生长硅基发热载体的设备。

起草单位

西安电炉研究所有限公司、西安理工晶体科技有限公司等

起草人

陈巨才、朱琳

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