YS/T 983-2014 多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法

标准详情：

YS/T 983-2014

行业标准-YS 有色金属推荐性

中文名称：多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法
CCS分类：H17
ICS分类：77.040.
发布日期：2014-10-14
实施日期：2015-04-01
代替标准：
行业分类：
技术归口：全国有色金属标准化技术委员会
发布部门：工业和信息化部
标准分类：冶金 YS 有色金属

内容简介

行业标准《多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
本标准规定了多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的分析方法。本标准适用于改良西门子法工艺还原炉和氢化炉尾气成分(氢气、氯化氢、三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅)的测定。检测范围为体积分数0.1%～100%。

起草单位

四川新光硅业科技有限责任公司、天威四川硅业有限责任公司等

起草人

敖细平、王波等

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