YS/T 985-2014 硅抛光回收片

标准详情：

YS/T 985-2014

行业标准-YS 有色金属推荐性

中文名称：硅抛光回收片
CCS分类：H80
ICS分类：
发布日期：2014-10-14
实施日期：2015-04-01
代替标准：
行业分类：
技术归口：全国有色金属标准化技术委员会
发布部门：工业和信息化部
标准分类：YS 有色金属

内容简介

行业标准《硅抛光回收片》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
本标准规定了硅抛光回收片的要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存、质量证明书和本标准适用于用户提供的或来源于第三方的硅回收片（主要包括100mm、125mm、150mm和200mm单面或双面抛光硅片、未抛光硅片或外延硅片）经单面抛光制备的硅抛光片。产品主要用于机械、炉处理、颗粒和光刻中的监控片。另外，使用方需注意硅回收片的热历史、体沾污和表面沉积物情况。