YS/T 15-2015 硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法

标准详情：

YS/T 15-2015

行业标准-YS 有色金属推荐性

中文名称：硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法
CCS分类：H21
ICS分类：77.040.
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
代替标准：代替YS/T 15-1991
行业分类：制造业
技术归口：全国有色金属标准化技术委员会
发布部门：工业和信息化部
标准分类：冶金制造业 YS 有色金属

内容简介

行业标准《硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
本标准适用于外延层和扩散层与衬底导电类型不同或两层电阻率相差至少一个数量级的任意电阻率的硅外延层和扩散层厚度的测量，测量范围：1μm～100μm。

起草单位

南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司

起草人

马林宝、杨帆、葛华等

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