YS/T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法

标准详情：

YS/T 14-2015

行业标准-YS 有色金属推荐性

中文名称：异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
CCS分类：H21
ICS分类：77.040.
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
代替标准：代替YS/T 14-1991
行业分类：制造业
技术归口：全国有色金属标准化技术委员会
发布部门：工业和信息化部
标准分类：冶金制造业 YS 有色金属

内容简介

行业标准《异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小于100nm的异质外延层和硅多晶层的厚度，测量范围为1μm～100μm。

起草单位

南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司

起草人

马林宝、杨帆、葛华等

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