YS/T 1053-2015 电子薄膜用高纯钴靶材
标准详情:
YS/T 1053-2015
行业标准-YS 有色金属推荐性现行
- 中文名称:电子薄膜用高纯钴靶材
- CCS分类:H62
- ICS分类:77.150.70
- 发布日期:2015-04-30
- 实施日期:2015-10-01
- 代替标准:
- 行业分类:制造业
- 技术归口:全国有色金属标准化技术委员会
- 发布部门:工业和信息化部
- 标准分类:冶金有色金属产品镉和钴产品制造业YS 有色金属
内容简介
行业标准《电子薄膜用高纯钴靶材》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。
本标准适用于电子薄膜制造用的各类高纯钴靶。
起草单位
宁波江丰电子材料股份有限公司,有研亿金新材料有限公司
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