YS/T 1025-2015 电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材

标准详情：

YS/T 1025-2015

行业标准-YS 有色金属推荐性

中文名称：电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材
CCS分类：H63
ICS分类：77.150.99
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
代替标准：
行业分类：制造业
技术归口：全国有色金属标准化技术委员会
发布部门：工业和信息化部
标准分类：冶金有色金属产品其他有色金属产品制造业 YS 有色金属

内容简介

行业标准《电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
本标准适用于电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材，以下简称高纯钨及钨合金靶。

起草单位

宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、北京天龙钨钼科技股份有限公司等

起草人

姚力军、王学泽、丁照崇等

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