YS/T 1031-2015 化学气相沉积炉
标准详情：
YS/T 1031-2015
行业标准-YS 有色金属推荐性现行
- 中文名称：化学气相沉积炉
- CCS分类：H91
- ICS分类：77.180.
- 发布日期：2015-04-30
- 实施日期：2015-10-01
- 代替标准：
- 行业分类：制造业
- 技术归口：全国有色金属标准化技术委员会
- 发布部门：工业和信息化部
- 标准分类：冶金制造业YS 有色金属
内容简介
行业标准《化学气相沉积炉》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
本标准适用于化学气相沉积。
起草单位
湖南顶立科技有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所等
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