SJ/T 11507-2015 集成电路用氧化层缓冲腐蚀液

标准详情：

SJ/T 11507-2015

行业标准-SJ 电子推荐性

中文名称：集成电路用氧化层缓冲腐蚀液
CCS分类：L90
ICS分类：31.030
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
代替标准：
行业分类：
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：工业和信息化部
标准分类：电子学电子技术专用材料 SJ 电子

内容简介

行业标准《集成电路用氧化层缓冲腐蚀液》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
本标准规定了集成电路用氧化层缓冲腐蚀液的术语、性状、技术要求、试验方法、检验规则和包装、标志、储存、运输等。本标准适用于集成电路用氧化层缓冲腐蚀液。本标准不涉及使用安全性问题。本标准的使用人应负责建立适当的安全健康条款及使用范围的限制。

起草单位

江阴润玛电子材料股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院

起草人

戈士勇、何珂、王周霞等

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