YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定气相色谱法

标准详情：

YS/T 1060-2015

行业标准-YS 有色金属推荐性

中文名称：硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定气相色谱法
CCS分类：H17
ICS分类：77.040.30
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
代替标准：
行业分类：制造业
技术归口：全国有色金属标准化技术委员会
发布部门：工业和信息化部
标准分类：冶金金属材料试验金属材料化学分析制造业 YS 有色金属

内容简介

行业标准《硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定气相色谱法》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
本标准适用于硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷（包括二氯二氢硅、四氯化硅）含量的测定。测定下限为0.002%。

起草单位

中锗科技有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司

起草人

刘新军、刘英杰、郑华荣等

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