SJ/T 11576-2016 喷雾式涂覆设备通用规范
标准详情：
SJ/T 11576-2016
行业标准-SJ 电子推荐性现行
- 中文名称：喷雾式涂覆设备通用规范
- CCS分类：L95
- ICS分类：31.550
- 发布日期：2016-01-15
- 实施日期：2016-06-01
- 代替标准：
- 行业分类：
- 技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 发布部门：工业和信息化部
- 标准分类：电子学电子产品生产设备SJ 电子
内容简介
行业标准《喷雾式涂覆设备通用规范》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
本规范规定了喷雾式涂设备（以下简称“设备”）的术语和定义、产品分类、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存及使用说明书等。本规范适用于半导体分立器件与集成电路制造过程中，在基片表面通过喷雾式涂覆形成均匀胶膜的设备。
起草单位
沈阳芯源微电子设备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院
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