SJ/T 11583-2016 电子陶瓷及其封接气密性测试方法

标准详情：

SJ/T 11583-2016

行业标准-SJ 电子推荐性

中文名称：电子陶瓷及其封接气密性测试方法
CCS分类：Q32
ICS分类：81.060.20
发布日期：2016-01-15
实施日期：2016-06-01
代替标准：
行业分类：
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：工业和信息化部
标准分类：玻璃和陶瓷工业陶瓷陶瓷制品 SJ 电子

内容简介

行业标准《电子陶瓷及其封接气密性测试方法》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
本标准规定了电子陶材料、已金属化的待封接电子陶瓷或已封接的电真空陶管制品的封接气密性测试原理、测试装置以及测试步骤等内容。本标准适用于电子陶瓷材料，如95瓷、93瓷等以及已金属化的电子陶或已封接的电真空陶瓷管制品室温下封接气密性的测试。