SJ/T 10479-2016 自动砂轮划片机
标准详情:
SJ/T 10479-2016
行业标准-SJ 电子推荐性现行
- 中文名称:自动砂轮划片机
- CCS分类:L95
- ICS分类:31.550
- 发布日期:2016-01-15
- 实施日期:2016-06-01
- 代替标准:代替SJ/T 10479-1994
- 行业分类:
- 技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 发布部门:工业和信息化部
- 标准分类:电子学电子产品生产设备SJ 电子
内容简介
行业标准《自动砂轮划片机》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。
本标准规定了自动砂轮划片机(划片过程自动化,以下简称“划片机”)的技术要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存等。本标准适用于切割分离硅片的划片机,产品也可以用于切割分离石英、玻璃、陶瓷、铌酸锂、砷化镓和磁钢等脆硬材料。
起草单位
沈阳仪表科学研究院有限公司、国家仪器仪表元器件质量监督检测中心、晶能光电(江西)有限公司等
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