YS/T 23-2016 硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法

标准详情：

YS/T 23-2016

行业标准-YS 有色金属推荐性

中文名称：硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法
CCS分类：H21
ICS分类：77.040
发布日期：2016-04-05
实施日期：2016-09-01
代替标准：代替YS/T 23-1992
行业分类：
技术归口：
发布部门：工业和信息化部
标准分类：冶金金属材料试验 YS 有色金属

内容简介

行业标准《硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法》，主管部门为工业和信息化部。
本标准规定了铂蒸发料的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单（或合同）内容。本标准适用于半导体行业用的铂蒸发料。

起草单位

起草人

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