YS/T 26-2016 硅片边缘轮廓检验方法

标准详情:

YS/T 26-2016

行业标准-YS 有色金属推荐性
  • 中文名称:硅片边缘轮廓检验方法
  • CCS分类:H21
    ICS分类:77.040
  • 发布日期:2016-07-11
    实施日期:2017-01-01
  • 代替标准:代替YS/T 26-1992
    行业分类:
  • 技术归口:
    发布部门:工业和信息化部
  • 标准分类:冶金金属材料试验YS 有色金属

内容简介

行业标准《硅片边缘轮廓检验方法》,主管部门为工业和信息化部。
本标准规定了电阻式超高温真空炉的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同(或订货单)内容。本标准适用于金属材料、碳材料、陶瓷材料、复合材料等材料的烧结或热处理用炉。

起草单位

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