YS/T 1164-2016 硅材料用高纯石英制品中杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法
标准详情：
YS/T 1164-2016
行业标准-YS 有色金属推荐性现行
- 中文名称：硅材料用高纯石英制品中杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法
- CCS分类：Q36
- ICS分类：150.252
- 发布日期：2016-07-11
- 实施日期：2017-01-01
- 代替标准：
- 行业分类：
- 技术归口：
- 发布部门：工业和信息化部
- 标准分类：YS 有色金属
内容简介
行业标准《硅材料用高纯石英制品中杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法》，主管部门为工业和信息化部。
本标准规定了多晶硅用高纯石英制品中铝、钙、钾、钠、铜、镁、磷、砷、锌、镍、硼含量的测定方法。本标准适用于多晶硅用高纯石英制品中铝、钙、钾、钠、铜、镁、磷、砷、锌、镍、硼含量的测定，测定范围见表1。
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