YS/T 1290-2018 多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定气相色谱法

标准详情：

YS/T 1290-2018

行业标准-YS 有色金属推荐性

中文名称：多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定气相色谱法
CCS分类：H17
ICS分类：77.040
发布日期：2018-10-22
实施日期：2019-04-01
代替标准：
行业分类：
技术归口：
发布部门：工业和信息化部
标准分类：冶金金属材料试验 YS 有色金属

内容简介

行业标准《多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定气相色谱法》，主管部门为工业和信息化部。
本标准规定了硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的气相色谱测定方法。本标准适用于硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的测定。测定范围为0.05%-10.00%。

起草单位

起草人

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