JB/T 13872-2020 平面相移干涉仪
标准详情:
JB/T 13872-2020
行业标准-JB 机械推荐性现行
- 中文名称:平面相移干涉仪
- CCS分类:N33
- ICS分类:17.18.30
- 发布日期:2020-04-16
- 实施日期:2021-01-01
- 代替标准:
- 行业分类:制造业
- 技术归口:
- 发布部门:工业和信息化部
- 标准分类:计量学和测量、物理现象制造业JB 机械
内容简介
行业标准《平面相移干涉仪》,主管部门为工业和信息化部。
本标准规定了平面相移干涉仪的术语和定义、型式、基本参数、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于利用微位移机构检验光学平面的面形偏差和平面平晶平面度的平面相移干涉仪(以下简称仪器)。
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