YS/T 1392-2020 氯硅烷组分含量的测定气相色谱法

标准详情：

YS/T 1392-2020

行业标准-YS 有色金属推荐性

中文名称：氯硅烷组分含量的测定气相色谱法
CCS分类：H17
ICS分类：77.04
发布日期：2020-12-09
实施日期：2021-04-01
代替标准：
行业分类：制造业
技术归口：全国有色金属标准化技术委员会,全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
标准分类：冶金制造业 YS 有色金属

内容简介

行业标准《氯硅烷组分含量的测定气相色谱法》，主管部门为工业和信息化部。
本标准规定了气相色谱法测定多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的方法。本标准适用于多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的测定。测定范围（体积分数）：二氯二氢硅为0.01%~20%，三氯氢硅、四氯化硅为0.01%~100%。

起草单位

江苏中能硅业科技发展有限公司、新疆协鑫新能源材料科技有限公司、亚洲硅业（青海）股份有限公司、新特能源股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、江苏鑫华半导体材料科技有限公司、江苏赛夫特半导体材料检测技术有限公司、雅波拓（福建）新材料有限公司

起草人

王春明、王彬、刘晓霞、沈峰、赵娟龙、曹岩德、银波、邱艳梅、楚东旭、李小晴、王桃霞、付萍

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