JJF 1351-2012 扫描探针显微镜校准规范
标准详情：
- 中文名称：扫描探针显微镜校准规范
- 标准号：JJF 1351-2012
- 标准状态：现行
- 发布日期：2012-06-18
- 归口单位全国几何量长度计量技术委员会
- 实施日期：2012-09-18
- 发布部门：国家市场监督管理总局
- 代替标准：
- 标准类别：计量检定规程
- 文件格式：纸质版或者PDF电子版（用Acrobat Reader打开）或Word版本doc格式
内容简介
本规范适用于以几何表面形貌为测量对象的扫描探针显微镜的校准。
扫描探针显微镜根据其设计原理不同，校准时需要根据实际情况选择相关的计量特性。对有特殊要求的测量任务，如对溯源要求较高的测量，不在本校准规范的适用范围。
起草单位
中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所、上海计量测试技术研究院、贵州计量测试院
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- 标准质量：
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