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本规范适用于0.1 μm级行程为0～10 mm、0.2 μm级行程为0～25 mm、0.5 μm级行程为0～50 mm、1 μm级～10 μm级行程为0～100 mm的光栅式测微仪校准。
中国科学院光电技术研究所、中国测试技术研究院
曹学东、匡龙、冉庆
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