T/FSI 003-2016 气相二氧化硅生产用四氯化硅

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气相二氧化硅生产用四氯化硅的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和安全
本标准适用于多晶硅副产四氯化硅、三氯氢硅副产四氯化硅以及其它方法制得的四氯化硅，该四氯化硅满足气相二氧化硅生产原料的质量要求
范围、规范性引用、技术要求、试验方法、检验规则、标识、包装、运输和贮存、安全

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