T/WLJC 58-2019 晶片精密研磨盘用修正轮
标准详情:
- 中文名称:晶片精密研磨盘用修正轮
- CCS分类:L97/C342
- ICS分类:25.080.50
- 发布日期:2019-04-22
- 行业分类:C 制造业
- 实施日期:2019-04-22
- 团体名称:温岭市机床装备行业协会
- 标准分类:机械制造磨床和抛光机制造业C 制造业金属加工机械制造
内容简介
本标准规定了晶片精密研磨盘用修正轮的型式规格、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存
本标准适用于晶片精密研磨盘用修正轮
标准名称中的“研磨盘”是指晶片双面研磨机的上、下研磨盘。修正轮的材质为灰铸铁或球墨铸铁,用于铸铁研磨盘的修整。外形为齿轮状,厚度25-40毫米,正反面开有刮研槽。标准给出了修正轮常用的6种结构型式,以及6种规格的外径和厚度尺寸、外圈的齿数和模数。标准中对修正轮三项关键指标规定的尺寸公差,代表了国内一流、国际先进技术水平。1)修正轮整个工作面的平面度,本标准规定应≤0.02mm;2)修正轮正反两面的平行度,本标准规定应≤0.005mm;3)修正轮4个或6个为一组,组内各修正轮之间的厚度误差,本标准规定应≤0.02mm。
起草单位
台州市永安机械有限公司、温岭市机床装备行业协会
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