T/ZZB 1373-2019 7N 光电子级超纯氨
标准详情：
T/ZZB 1373-2019
团体标准推荐性现行
- 中文名称：7N 光电子级超纯氨
- CCS分类：G86/C261
- ICS分类：71.100.20
- 发布日期：2019-11-27
- 行业分类：C 制造业
- 实施日期：2019-12-31
- 团体名称：浙江省品牌建设联合会
- 标准分类：化工技术工业气体制造业C 制造业基础化学原料制造
内容简介
本标准规定了7N光电子级超纯氨的基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮运及安全要求和质量承诺。本标准规定的产品氨适用于半导体工业，氮化硅、氮化镓的化学气相沉积，也可用于硅或氧化硅的氮化等生产工艺所使用的氨气。分子式：NH3。相对分子质量：17.031（按2016年国际相对原子量）。
起草单位
海宁市英德赛电子有限公司。 本标准参与起草单位浙江理工大学、嘉兴学院、杭州士兰明芯科技有限公司（排名不分先后）。
起草人
陈树大、戚栋明、周春阳、朱盛霞、周平、彭昆鹏、查春峰、潘佳伟、卢勇华、 王龙、赵晓兰、陈华燕（排名不分先后）。
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- 标准质量：
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