T/ZZB 1790-2020 铜铟镓硒太阳能电池薄膜溅射沉积设备

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团体标准推荐性

本文件规定了铜铟镓硒太阳能电池薄膜溅射沉积设备的术语和定义、结构与使用环境、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存及质量承诺。本文件适用于铜铟镓硒太阳能电池薄膜溅射沉积设备（以下简称“设备”）。

浙江上方电子装备有限公司。本标准参与起草单位（排名不分）浙江方正轻纺机械检测中心有限公司、慈溪市长信真空设备厂（普通合伙）。

来华杭、周海龙、蔡好、袁海萍、洪东、陈敏、虞跃华、王晨、姚亮。

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