T/CATSI 09010-2021 光学真空腔体洁净度检测规范
标准详情：
T/CATSI 09010-2021
团体标准推荐性现行
内容简介
第3章 术语、定义和缩略语为便于对标准的理解与执行，本章给出了光学真空腔体洁净度分压术语和定义和部分缩略语。第4章真空腔体污染物本章主要给出了光学真空腔体污染物的类型，包括油脂、液滴、表面氧化物等。第5章洁净度标准本章给出洁净级标准、超净级标准和危险级3种洁净度等级标准的要求。第6章检测准备本章主要针对检测件、检测位置以及检测方法、检测仪器设备等主要环节提出相关要求。第7章检测与结果本章主要给出检测原理、检测步骤、检测结果判定等要求。附录A附录给出了洁净度检测设备基本情况、设备参数及检测条件、腔ARGA质谱结果示例、腔BRGA质谱结果示例、腔B法拉第/倍增结果示例。
起草单位
北京大学、广东省新兴激光等离子体技术研究院、上海交通大学、北京世华尖锋科技有限公司、埃地沃兹贸易（上海）有限公司、北京中凯威科技发展有限责任公司、北京欣瑞拓科技有限公司、上海米雾环保技术有限公司、北京锐德康科技有限公司
起草人
赵家瑞、马文君、颜学庆、朱昆、林晨、赵研英、袁忠喜、徐圣宣、耿易星、牛化瑞、陈式有、高营、寿寅任、王科栋、陈黎明、陈民、王贵毅、许坚、张殿伟、杨大荥、李昂、莫一心
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