T/ZZB 2283-2021 半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉

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团体标准推荐性

本文件规定了半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉的术语和定义、材料规格说明、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标识、包装、运输和贮存、质量承诺。本文件适用于纯度达到5N（99.999wt%）以上的半导体级碳化硅单晶用石墨粉。

中钢新型材料股份有限公司。本文件参与起草单位冶金工业信息标准研究院。

杨辉、肖绍懿、姜阅、吴厚政、张逊熙、王晓远、朱东锋、徐建平、毛玉珍、刘升、潘小平、王鑫鑫、周童、汪彦龙。

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