YS/T 987-2021 氯硅烷中碳含量的测定?气相色谱质谱联用法

标准详情:

YS/T 987-2021

行业标准-YS 有色金属推荐性
  • 中文名称:氯硅烷中碳含量的测定?气相色谱质谱联用法
  • CCS分类:H17
    ICS分类:77.040.30
  • 发布日期:2021-12-02
    实施日期:2022-04-01
  • 代替标准:代替YS/T 987-2014
    行业分类:制造业
  • 技术归口:全国有色金属标准化技术委员会,全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
    发布部门:工业和信息化部
  • 标准分类:冶金金属材料试验金属材料化学分析制造业YS 有色金属

内容简介

行业标准《氯硅烷中碳含量的测定?气相色谱质谱联用法》,主管部门为工业和信息化部。
本文件规定了气相色谱质谱联用法测定氯硅烷中碳杂质含量的方法。本文件适用于氯硅烷中碳杂质(包括氯硅烷中的甲基二氯硅烷、甲基三氯硅烷、二甲基一氯硅烷、二甲基二氯硅烷、三甲基一氯硅烷,统称甲基氯硅烷)含量的测定,测定范围(质量分数)为0.000 010%~0.10%。

起草单位

亚洲硅业(青海)股份有限公司、青海省亚硅硅材料工程技术有限公司、青海芯测科技有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、新疆大全新能源股份有限公司

起草人

魏东亮、田润朝、蔡延国、曹岩德、陈英、安军林、陈英春、于生海、申梅桂、李升业、宗冰、尹东林、肖建忠、刘翠、徐家扬

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