DB13/T 5631-2022 电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚生产技术规范

标准详情：

地方标准-河北省推荐性

本文件规定了电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义、从业人员、设备、原辅材料、工艺过程、环境要求和管理要求。本文件适用于电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术。
地方标准《电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚生产技术规范》，主管部门为河北省市场监督管理局。

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