DB53/T 501-2013 多晶硅用三氯氢硅杂质元素含量测定 电感耦合等离子体质谱法
标准详情：
DB53/T 501-2013
地方标准-云南省推荐性废止
- 中文名称：多晶硅用三氯氢硅杂质元素含量测定 电感耦合等离子体质谱法
- CCS分类：G10
- ICS分类：71.040.40
- 发布日期：2013-08-01
- 实施日期：2013-10-01
- 代替标准：
- 行业分类：制造业，化工技术
- 技术归口：云南省质量技术监督局
- 发布部门：云南省质量技术监督局
- 标准分类：化工技术制造业云南省
内容简介
本标准规定了电感耦合等离子体质谱法测定多晶硅用三氯氢硅中硼、铁、铝、钙、铜、铬、镍、锑、钴、锌、锡、钛、锰杂质元素含量的方法。本标准适用于改良西门子法生产多晶硅用三氯氢硅中硼、铁、铝、钙、铜、铬、镍、锑、钴、锌、锡、钛、锰杂质元素含量的测定。
地方标准《多晶硅用三氯氢硅杂质元素含量测定 电感耦合等离子体质谱法》由云南省质量技术监督局归口上报，主管部门为云南省质量技术监督局。
起草人
赵建为、张云晖、亢若谷、马启坤、李晓华、韩小月、于艳敏、金波、杨晓静、田琦、
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