DB53/T 499-2013 多晶硅用三氯氢硅

标准详情：

地方标准-云南省推荐性

本标准规定了多晶硅用三氯氢硅的要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输和贮存等内容。本标准适用于改良西门子法生产的多晶硅用三氯氢硅。
地方标准《多晶硅用三氯氢硅》由云南省质量技术监督局归口上报，主管部门为云南省质量技术监督局。

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