GB/T 6624-2009 硅抛光片表面质量目测检验方法
标准详情：
- 中文名称：硅抛光片表面质量目测检验方法
- CCS分类：H80
- ICS分类：29.045
- 发布日期：2009-10-30
- 实施日期：2010-06-01
- 代替标准：代替GB/T 6624-1995
- 技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 发布部门：国家标准化管理委员会
- 标准分类：电气工程半导体材料
内容简介
国家标准《硅抛光片表面质量目测检验方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
u3000u3000本标准规定了在一定光照条件下，用目测检验单晶抛光片（以下简称抛光片）表面质量的方法。 u3000u3000本标准适用于硅抛光片表面质量检验。外延片表面质量目测检验也可参考本方法进行。
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