GB/T 29506-2013 300mm 硅单晶抛光片

标准详情：

GB/T 29506-2013

国家标准推荐性

中文名称：300mm 硅单晶抛光片
CCS分类：H82
ICS分类：29.045
发布日期：2013-05-09
实施日期：2014-02-01
代替标准：
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：电气工程半导体材料

内容简介

国家标准《300mm 硅单晶抛光片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了直径300mm、p型、(100)晶向、电阻率0.5Ω·cm～20Ω·cm规格的硅单晶抛光片的术语和定义、技术要求、试脸方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于直径300 mm直拉单晶磨削片经双面抛光制备的硅单晶抛光片,产品主要用于满足集成电路IC用线宽90 nm技术需求的衬底片。

起草单位

有研半导体材料股份有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所、

起草人

闫志瑞、孙燕、张果虎、向磊、盛方毓、卢立延、

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