GB/T 24577-2009 热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物

标准详情：

GB/T 24577-2009

国家标准推荐性

中文名称：热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物
CCS分类：H80
ICS分类：29.045
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
代替标准：
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：电气工程半导体材料

内容简介

国家标准《热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了硅片表面的有机污染物的定性和定量方法,采用气质联用仪或磷选择检测器或者两者同时采用。

起草单位

信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所、

起草人

王奕、褚连青、李静、

相近标准

WS/T 135-1999 作业场所空气中异丁醛的热解吸气相色谱测定方法
WS/T 136-1999 作业场所空气中异丙醚的热解吸气相色谱测定方法
WS/T 167-1999 作业场所空气中双乙烯酮的热解吸气相色谱测定方法
WS/T 140-1999 作业场所空气中甲基异丁基甲酮的热解吸气相色谱测定方法
20204891-T-469 硅片表面光泽度的测试方法
GB/T 29505-2013 硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法
20220359-T-469 焊接和相关工艺中烟尘和气体取样的实验室方法第5部分: 基于热解-气相色谱-质谱法的电弧焊或切割过程中有机材料热降解物的识别
GB/T 40279-2021 硅片表面薄膜厚度的测试光学反射法
GB/T 24579-2009 酸浸取原子吸收光谱法测定多晶硅表面金属污染物
DB22/T 2564-2016 生活饮用水及水源水中7种有机污染物含量的测定液相色谱-质谱法

* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。

本地下载

纠错