GB/T 1555-2009 半导体单晶晶向测定方法

标准详情:

GB/T 1555-2009

国家标准推荐性
  • 中文名称:半导体单晶晶向测定方法
  • CCS分类:H80
    ICS分类:29.045
  • 发布日期:2009-10-30
    实施日期:2010-06-01
  • 代替标准:代替GB/T 1555-1997
  • 技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
    发布部门:国家标准化管理委员会
  • 标准分类:电气工程半导体材料

内容简介

国家标准《半导体单晶晶向测定方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
u3000u3000本标准规定了半导体单晶晶向X射线衍射定向和光图定向的方法。 u3000u3000本标准适用于测定半导体单晶材料大致平行于低指数原子面的表面取向。

起草单位

峨嵋半导体材料厂、

起草人

杨旭、何兰英、

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