GB/T 30856-2014 LED外延芯片用砷化镓衬底
标准详情:
GB/T 30856-2014
国家标准推荐性现行
- 中文名称:LED外延芯片用砷化镓衬底
- CCS分类:H83
- ICS分类:29.045
- 发布日期:2014-07-24
- 实施日期:2015-04-01
- 代替标准:
- 技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 发布部门:国家标准化管理委员会
- 标准分类:电气工程半导体材料
内容简介
国家标准《LED外延芯片用砷化镓衬底》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了LED外延芯片用砷化镓单晶衬底片(以下简称衬底)的要求、检验方法和规则以及标志、包装、运输、储存、质量证明书与订货单(或合同)内容。本标准适用于LED外延芯片用的砷化镓单晶衬底。
起草单位
中国科学院半导体研究所、云南中科鑫圆晶体材料有限公司、有研光电新材料有限公司、
起草人
赵有文、提刘旺、惠峰、赵坚强、林泉、于洪国、
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