GB/T 12963-2014 电子级多晶硅
标准详情：
GB/T 12963-2014
国家标准推荐性现行
- 中文名称：电子级多晶硅
- CCS分类：H82
- ICS分类：29.045
- 发布日期：2014-12-31
- 实施日期：2015-09-01
- 代替标准：代替GB/T 12963-2009被GB/T 12963-2022全部代替
- 技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 发布部门：国家标准化管理委员会
- 标准分类：电气工程半导体材料
内容简介
国家标准《电子级多晶硅》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了多晶硅的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、储存、质量证明书和订货单（或合同）内容。 本标准适用于以氯硅烷、硅烷制得的多晶硅。
起草单位
峨嵋半导体材料研究所、有研半导体材料股份有限公司、新特能源股份有限公司、四川新光硅业科技有限责任公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、
起草人
詹科、杨旭、梁洪、孙燕、种娜、黎亚文、刘晓霞、
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