GB/T 24574-2009 硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法

标准详情：

GB/T 24574-2009

国家标准推荐性

中文名称：硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法
CCS分类：H80
ICS分类：29.045
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
代替标准：
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
发布部门：国家标准化管理委员会
标准分类：电气工程半导体材料

内容简介

国家标准《硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法。本标准适用于低位错单晶硅中导电性杂质硼和磷含量的同时测定。本标准用于检测单晶硅中含量为1×1011at·cm-3~5×1015at·cm-3的各种电活性杂质元素。

起草单位

信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第四十六研究所、

起草人

李静、何秀坤、蔺娴、

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