GB/T 4058-2009 硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法
标准详情：
- 中文名称：硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法
- CCS分类：H80
- ICS分类：29.045
- 发布日期：2009-10-30
- 实施日期：2010-06-01
- 代替标准：代替GB/T 4058-1995
- 技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 发布部门：国家标准化管理委员会
- 标准分类：电气工程半导体材料
内容简介
国家标准《硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
u3000u3000本标准规定了硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法。 u3000u3000本标准适用于硅抛光片表面区在模拟器件氧化工艺中诱生或增强的晶体缺陷的检测。 u3000u3000硅单晶氧化诱生缺陷的检验也可参照此方法。
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