GB/T 30868-2014 碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法
标准详情：
GB/T 30868-2014
国家标准推荐性现行
- 中文名称：碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法
- CCS分类：H83
- ICS分类：29.045
- 发布日期：2014-07-24
- 实施日期：2015-02-01
- 代替标准：
- 技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 发布部门：国家标准化管理委员会
- 标准分类：电气工程半导体材料
内容简介
国家标准《碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了利用熔融氢氧化钾腐蚀法测定碳化硅单晶微管密度的方法。本标准适用于碳化硅单晶微管密度的测定。
起草单位
中国电子科技集团公司第四十六研究所、中国电子技术标准化研究院、
* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。
- 标准质量：
下载说明
- ① 欢迎分享本站未收录或质量优于本站的标准，期待。
② 仅供网友学习交流，若侵犯了您的权益，请联系我们予以删除。