GB/T 42659-2023 表面化学分析 扫描探针显微术 采用扫描探针显微镜测定几何量:测量系统校准

标准详情:

GB/T 42659-2023

国家标准推荐性
  • 中文名称:表面化学分析 扫描探针显微术 采用扫描探针显微镜测定几何量:测量系统校准
  • CCS分类:G04
    ICS分类:71.040.40
  • 发布日期:2023-08-06
    实施日期:2024-03-01
  • 代替标准:
  • 技术归口:全国微束分析标准化技术委员会
    发布部门:国家标准化管理委员会
  • 标准分类:化工技术分析化学化学分析

内容简介

国家标准《表面化学分析 扫描探针显微术 采用扫描探针显微镜测定几何量:测量系统校准》由TC38(全国微束分析标准化技术委员会)归口,TC38SC2(全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
本文件描述了用于最高等级几何量测量的扫描探针显微镜(SPM)扫描轴的表征和校准方法,适用于提供进一步校准的测量系统,而不适用于校准等级需求较低的一般工业应用。

起草单位

中国计量科学研究院、西安交通大学、上海市计量测试技术研究院、

起草人

李伟、 蔡潇雨、 程碧瑶、 魏佳斯、 李适、杨树明、高思田、

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