GB/T 43663-2024 表面化学分析 二次离子质谱 静态二次离子质谱相对强度标的重复性和一致性
标准详情:
GB/T 43663-2024
国家标准推荐性即将实施
- 中文名称:表面化学分析 二次离子质谱 静态二次离子质谱相对强度标的重复性和一致性
- CCS分类:G04
- ICS分类:71.040.40
- 发布日期:2024-03-15
- 实施日期:2024-10-01
- 代替标准:
- 技术归口:全国微束分析标准化技术委员会
- 发布部门:国家标准化管理委员会
- 标准分类:化工技术分析化学化学分析
内容简介
国家标准《表面化学分析 二次离子质谱 静态二次离子质谱相对强度标的重复性和一致性》由TC38(全国微束分析标准化技术委员会)归口,TC38SC2(全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
本文件描述了常规分析中确认静态二次离子质谱正离了相对强度标的重复性和一致性的方法。本文件适用于安装有荷电中和电子枪的仪器,不用于校正强度随质量变化的响应函数,校正可由仪器制造厂商或其他机构进行。本文件提供数据以确认仪器使川时的相对强度一致性,提供可影响一致性的一些仪器参数的设置指南。
起草单位
北京师范大学、中国科学院物理研究所、北京化工大学、清华大学、中国计量科学研究院、
相近标准
20232366-T-469 表面化学分析 二次离子质谱 单离子计数飞行时间质谱分析器的强度标线性
GB/T 40129-2021 表面化学分析 二次离子质谱 飞行时间二次离子质谱仪质量标校准
GB/T 25186-2010 表面化学分析 二次离子质谱 - 由离子注入参考物质确定相对灵敏度因子
20232769-T-469 表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度
GB/T 40109-2021 表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法
SJ/T 11493-2015 硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法
GB/T 32495-2016 表面化学分析 二次离子质谱 硅中砷的深度剖析方法
SJ/T 11498-2015 重掺硅衬底中氧浓度的二次离子质谱测量方法
GB/T 24575-2009 硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法
GB/T 20176-2006 表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度
* 特别声明:资源收集自网络或用户上传,版权归原作者所有,如侵犯您的权益,请联系我们处理。
- 标准质量:
下载说明
- ① 欢迎分享本站未收录或质量优于本站的标准,期待。
② 仅供网友学习交流,若侵犯了您的权益,请联系我们予以删除。