GB/T 34899-2017 微机电系统（MEMS）技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法
标准详情：
GB/T 34899-2017
国家标准推荐性现行
- 中文名称：微机电系统（MEMS）技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法
- CCS分类：L55
- ICS分类：31.200
- 发布日期：2017-11-01
- 实施日期：2018-05-01
- 代替标准：
- 技术归口：全国微机电技术标准化技术委员会
- 发布部门：国家标准化管理委员会
- 标准分类：电子学集成电路、微电子学
内容简介
国家标准《微机电系统（MEMS）技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了拉曼光谱法测定微机电系统（MEMS）结构表面残余应力、相对静态应力、相对动态应力的方法。本标准适用于微机电系统（MEMS）结构表面残余应力、相对静态应力、相对动态应力的拉曼光谱法测试。
起草人
石云波、唐军、李海斌、朱悦、程红兵、崔建功、
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